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高效過濾器檢漏方法比較

瀏覽次數:349發布日期:2022-01-25

方法

參考標準

優點

缺點

適用范圍

光度計掃描法-PAO

GB50591-2010

ISO14644-3

1、簡單易學,判斷標準0.01%易懂,

2、對背景環境的要求沒有計數器法高,瞬時讀數。

1、發塵量大,對過濾器有一點污染

2、過濾器安裝需要留有檢漏口,適用于新建廠房

適合與HEPA,不適合ULPA

光度計,只能針對油類氣溶膠

大氣塵檢漏法(粒子計數器法)

GB50591-2010

潔凈室施工及驗收規范

不需要人為發塵,對過濾器幾乎沒有污染。

對背景要求高,環境潔凈度對檢漏結果有影響

氣溶膠對產品有污染的地方,如特定電子廠。

粒子計數掃描法

ISO14644-3潔凈室及相關受控環境

發塵量,污染少。可直接顯示顆粒粒徑。漏點值表達明確。

新方法;對背景環境有要求高;操作難度規范性高。


適用于HEPAULPA

適用于油類/固體類氣溶膠

DPC-H高效檢漏儀.jpg

高效過濾器檢漏計數法

高效過濾器PAO檢漏

微生物實驗室高效過濾器檢漏(計數法/PAO法)

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